发明名称 SELECTIVE TREATMENT OF THE SURFACE OF A MICROELECTRONIC WORKPIECE
摘要
申请公布号 EP1091811(A1) 申请公布日期 2001.04.18
申请号 EP19990912557 申请日期 1999.03.15
申请人 SEMITOOL, INC. 发明人 AEGERTER, BRIAN;DUNDAS, CURT, T.;JOLLEY, MICHAEL;RITZDORE, TOM, L.;CURTIS, GARY, L.
分类号 B08B3/04;B05C11/08;B08B3/02;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3213;(IPC1-7):B08B3/02 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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