| 主权项 |
1.一种托盘移送臂,其特征在于:大体上在上下方向设置一对托盘收藏部。2.如申请专利范围第1项之托盘移送臂,其中具有令该对托盘收藏部彼此独立地大体上在上下方向移动之驱动装置。3.如申请专利范围第1或2项之托盘移送臂,其特征在于该对托盘收藏部设置成背对背。4.一种托盘移载装置,将设于第一位置之第1托盘换装于第二位置,并将设于第三位置之第2托盘换装于该第一位置,其特征在于:可收藏该第1及第2托盘之一对之托盘收藏部大体上设于上下方向,具有将该对托盘收藏部设成大体上在上下方向可移动之托盘移载装置。5.如申请专利范围第4项之托盘移载装置,其中还具有放上设于该第一位置之第1托盘后令大体上在上下方向移动之升降装置。6.如申请专利范围第4或5项之托盘移载装置,其中该第二位置及该第三位置各自位于相对于第一位置大体上上方向、下方向或水平方向之其中之一。7.如申请专利范围第4项之托盘移载装置,其中该第一位置系托盘之卸载部,该第二位置及第三位置系托盘之储存器,该第1托盘装载了测试完之被测试IC之托盘,该第2托盘系空托盘。8.如申请专利范围第4项之托盘移载装置,其中该第一位置系托盘之卸载部,该第二位置及第三位置系托盘之储存器,该第1托盘系完成了被测试IC之换装之空托盘,该第2托盘系装载了测试前之被测试IC之托盘。9.如申请专利范围第4或5项之托盘移载装置,其中还具有将该第2托盘放于该托盘移载装置之一方之托盘收藏部之托盘设定装置。10.一种IC测试装置,将装载了被测试IC之第1种托盘投入装载部后,将该被测试IC换装于在测试制程搬运之第2种托盘,将该第2种托盘投入该测试制程后测试该被测试IC,而且就该各被测试IC记忆其测试结果,将该测试完之第2种托盘抓到卸载部,按照该测试结果将该被测试IC自该第2种托盘于该第1种托盘,而且在该卸载部,自该卸载部排出完成了来自该第2种托盘之被测试IC之换装之第1种托盘,并将其他之第1种托盘投入该卸载部,其特征在于:具有将可收藏该第1种托盘之一对之托盘收藏部大体上设于上下方向之托盘移载装置。11.如申请专利范围第10项之IC测试装置,其中具有令该对托盘收藏部彼此独立地大体上在上下方向移动之驱动装置。12.如申请专利范围第10或11项之IC测试装置,其中还具有放上设于该卸载部之第1种托盘后令在上下方向移动之升降装置。13.如申请专利范围第10或11项之IC测试装置,其中还具有将该其他之第1种托盘放于该托盘移载装置之一方之托盘收藏部之托盘设定装置。14.如申请专利范围第10或11项之IC测试装置,其中在该卸载部设置保持第1种托盘之保持装置。15.如申请专利范围第10或11项之IC测试装置,其中该卸载部大体上在水平方向设置复数对,该托盘移载装置之托盘收藏部以和该大体上在水平方向之该卸载部一样之间距设置复数对。16.如申请专利范围第10或11项之IC测试装置,其中该托盘移载装置之托盘收藏部之某一方系可暂时收藏在该卸载部换装被测试IC之途中之该第1种托盘。17.一种IC测试装置,将装载了被测试IC之第1种托盘投入装载部后,将该被测试IC换装于在测试制程搬运之第2种托盘,将该第2种托盘投入该测试制程后测试该被测试IC,而且就该各被测试IC记忆其测试结果,将该测试完之第2种托盘抓到卸载部,按照该测试结果将该被测试IC自该第2种托盘于该第1种托盘,而且在该装载部,自该装载部排出完成了向该第2种托盘之被测试IC之换装之第1种托盘,并将装载了下一测试之被测试IC之第1种托盘投入该装载部,其特征在于:具有将可收藏该第1种托盘之一对之托盘收藏部大体上设于上下方向之托盘移载装置。18.如申请专利范围第17项之IC测试装置,其中具有令该对托盘收藏部彼此独立地大体上在上下方向移动之驱动装置。19.如申请专利范围第17或18项之IC测试装置,其中还具有放上设于该装载部之第1种托盘后令在上下方向移动之升降装置。20.如申请专利范围第17或18项之IC测试装置,其中还具有将装载了下一测试之被测试IC之第1种托盘放于该托盘移载装置之一方之托盘收藏部之托盘设定装置。21.如申请专利范围第17或18项之IC测试装置,其中在该装载部设置保持第1种托盘之保持装置。22.如申请专利范围第17或18项之IC测试装置,其中该装载部大体上在水平方向设置复数对,该托盘移载装置之托盘收藏部以和该大体上在水平方向之该装载部一样之间距设置复数对。23.如申请专利范围第10.11.17或18项之IC测试装置,其中还具有侦测在该托盘收藏部是否收藏第1种托盘之感测器。24.一种托盘之搬移方法,令设于第一位置之第1托盘移到相对于该第一位置大体上位于下方向之第二位置后,令设于相对于该第一位置大体上位于下方向之第三位置之第2托盘移到该第一位置,其特征在于:在设于该第一位置和该第二或第三位置之间并大体上在上下方向可收藏2个托盘之托盘移送臂之上侧之托盘收藏部收藏该第2托盘,和下侧之托盘收藏部一起移到该第一位置,将该第1托盘收藏于该下侧之托盘收藏部,而且令该上侧之托盘收藏部向上方向移动,将收藏于该托盘收藏部之该第2托盘设于该第一位置。25.如申请专利范围第24项之托盘之搬移方法,其中将该第1托盘暂时收藏于该托盘移送臂之托盘收藏部之某一方,将第2或第3托盘设于该第一位置,而且自该第一位置排出该第2或第3托盘后,将该托盘收藏部所收藏之该第1托盘再设于该第一位置。图式简单说明:第一图系表示本发明之IC测试装置之实施例之立体图。第二图系表示在第一图所示IC测试装置之托盘之搬移方法之概念图。第三图系表示在第一图所示IC测试装置使用之测试托盘之部分分解立体图。第四图系用以说明在第三图所示测试托盘之被测试IC之装上状态之立体图。第五图系用以说明在第一图所示IC测试装置之测试室之被测试IC和测试头之电气连接状态之剖面图。第六图系用以说明在第一图所示IC测试装置之测试室之被测试IC之测试步骤之平面图。第七图系表示第一图所示IC测试装置之IC储存器之构造之立体图。第八图系表示在第一图所示IC测试装置使用之订制托盘之立体图。第九图系表示在第一图所示IC测试装置使用之托盘移送臂之立体图。第十图系沿着第一图之XX-XX线之剖面图。第十一图系用以说明在本发明之实施例1之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第十二图系用以说明在本发明之实施例1之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第十三图系用以说明在本发明之实施例1之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第十四图系用以说明在本发明之实施例1之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第十五图系用以说明在本发明之实施例1之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第十六图系用以说明在本发明之实施例1之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第十七图系用以说明在本发明之实施例1之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第十八图系用以说明在本发明之实施例1之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第十九图系用以说明在本发明之实施例1之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十图系用以说明在本发明之实施例2之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十一图系用以说明在本发明之实施例2之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十二图系用以说明在本发明之实施例2之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十三图系用以说明在本发明之实施例2之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十四图系用以说明在本发明之实施例2之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十五图系用以说明在本发明之实施例2之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十六图系用以说明在本发明之实施例2之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十七图系用以说明在本发明之实施例2之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十八图系用以说明在本发明之实施例2之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第二十九图系用以说明在本发明之实施例3之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第三十图系用以说明在本发明之实施例3之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第三十一图系用以说明在本发明之实施例3之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第三十二图系用以说明在本发明之实施例3之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第三十三图系用以说明在本发明之实施例3之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第三十四图系用以说明在本发明之实施例3之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第三十五图系用以说明在本发明之实施例3之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第三十六图系用以说明在本发明之实施例3之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。第三十七图系用以说明在本发明之实施例3之托盘之搬移方法之相当于第十图之剖面图。 |
