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发明名称 METHOD OF FORMING A LATERALLY-VARYING CHARGE PROFILE IN A SILICON CARBIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1040512(A1) 申请公布日期 2000.10.04
申请号 EP19990921044 申请日期 1999.05.31
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 ALOK, DEV;TASKAR, NIKHIL;LETAVIC, THEODORE
分类号 H01L21/266;C04B28/02;H01L21/04;H01L21/265;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/31 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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