发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Silicium-Einkristalls und Heizvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE59701108(D1) 申请公布日期 2000.03.16
申请号 DE19975001108 申请日期 1997.12.11
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG 发明人 VON AMMON, DR.;TOMZIG, DR.;FUCHS, PAUL;GELFGAT, PROF.
分类号 C30B15/14;C30B15/30;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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