| 发明名称 |
METHOD AND INSTRUMENT FOR QUANTITATIVELY MEASURING FINE PARTICLES MIXED IN SILICON WAFER TREATING SLURRY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11304687(A) |
申请公布日期 |
1999.11.05 |
| 申请号 |
JP19980106301 |
申请日期 |
1998.04.16 |
| 申请人 |
ISHIKAWAJIMA HANYOKI SERVICE CO LTD |
发明人 |
MOTOYAMA YOSHINARI |
| 分类号 |
G01N15/04;H01L21/304;(IPC1-7):G01N15/04 |
主分类号 |
G01N15/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
