| 发明名称 |
DOUBLE WALL REACTION CHAMBER GLASSWARE |
| 摘要 |
<p>이중 벽 반응 쳄버 조립체는 원통형의 내부 벽 및 그의 축으로 평행한 원통형 외부 벽을 구성하고, 상기 내부 벽은 외부 표면 위의 두꺼운 환형 접합 플랜지를 가진 환형 접합부를 가진다. 상기 외부 벽의 하단부는 두꺼운 환형 접합의 외부 표면에 융합된다. 상기 내부 벽의 외부 표면 및 환형 접합 플랜지의 내부 표면은 아래로 향하여 경사진 배수 포트의 경사진 환형 배수 채널을 형성한다. 이중 벽 반응 쳄버 조립체는 원통형 내부 벽 및 그의 축으로 평행한 원통형 외부 벽을 가진다. 상기는 내부 벽에 융합된 하부 단을 가진다. 가스 분배 관은 가스 유입 단 및 가스 분배 단을 구비하고, 상기 가스 분배 단은 접합부를 구비한 분할 T자 관을 구성한다. 상기 T자 관의 하나의 다리는 내부 벽 둘레 접합부에서 제 1 출구 종단부까지 제 1 방향내로 연장하고 상기 T자 관의 다른 다리는 반대 방향에서 내부 벽 둘레 제 2 방향내 접합부로부터 제 1 방향 및 제 2 출구 종단부까지 연장한다. 종단부로부터 각각 외부 종단부까지 아래로 경사진 상기 T자 관의 각 다리의 경사로 가스 분배기내 액체는 조립체로부터 완전히 배수될 것이다.</p> |
| 申请公布号 |
KR19990072526(A) |
申请公布日期 |
1999.09.27 |
| 申请号 |
KR19990004491 |
申请日期 |
1999.02.09 |
| 申请人 |
실리콘 밸리 그룹-떰코 |
发明人 |
포우러젝디.;파르빈로버트;코왈스키제프리;위에센파트릭더블유. |
| 分类号 |
H01L21/22;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/08;C30B31/10;H01L21/205;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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