| 主权项 |
1.一种外接式射频电源异常警告装置,可中断一半 导体制 程设备之射频能源产生器之电源供应,该装置包括 :一第 一继电器,其具有一常开开关与连接至该射频产生 器之输 出端的一感应器,当该射频产生器产生射频能源时 ,该第 一继电器之常开开关切换为闭路状态;一计时器, 具有一 计时开关与一常闭开关,该计时器之计时开关与该 第一继 电器之常开开关串联连接于该电源供应之两端;一 第二继 电器,具有一常开开关,一组两个常闭开关,与一感 应器 ,其常开开关与该计时器之常闭开关并联,而其两 个常闭 开关分别将该射频产生器之两条电源线耦接至该 电源的两 端;一重置开关,其一端串联该第二继电器之常开 开关, 另一端串联该第二继电器之感应器,且三者之串连 连接于 该电源之两端;一异常状态警报蜂鸣器;一第三继 电器, 具有一常开开关,一常闭开关,与一感应器,其常闭 开关 与该异常状态警报蜂鸣器串联,再与该第二继电器 之感应 器并联;与一蜂鸣器开关,与该第三继电器之常开 开关并 联,并与该第三继电器之感应器串联后再与该第二 继电器 之感应器并联。2.如申请专利范围第1项外接式射 频电源异常警告之装置 ,其更包含有一射频供应指示灯,该射频供应指示 灯系与 该计时器之计时开关并联。3.如申请专利范围第2 项外接式射频电源异常警告之装置 ,其更包含有一异常状态指示灯,该异常状态指示 灯系与 该第二继电器之感应器并联。4.如申请专利范围 第1项外接式射频电源异常警告之装置 ,其中该第一继电器系为固态继电器。5.如申请专 利范围第1项外接式射频电源异常警告之装置 ,其中该第二继电器系为电磁继电器,其感应器为 电磁线 圈。6.如申请专利范围第1项外接式射频电源异常 警告之装置 ,其中该第三继电器系为电磁继电器,其感应器为 电磁线 圈。7.一种外接式射频电源异常警告装置,可中断 一半导体制 程设备之射频能源产生器之电源供应,该装置包括 :一第 一继电器,其具有一常开开关与连接至该射频产生 器之输 出端的一感应器,当该射频产生器产生射频能源时 ,该第 一继电器之常开开关切换为闭路状态;一计时器, 具有一 计时开关与一常闭开关,该计时器之计时开关与该 第一继 电器之常开开关串联连接于该电源供应之两端;一 射频供 应指示灯,与该计时器之计时开关并联;一第二继 电器, 具有一常开开关,一组两个常闭开关,与一感应器, 其常 开开关与该计时器之常闭开关并联,而其两个常闭 开关分 别将该射频产生器之两条电源线耦接至该电源的 两端;一 异常状态指示灯,与该第二继电器之感应器并联; 一重置 开关,其一端串联该第二继电器之常开开关,另一 端串联 该第二继电器之感应器,且三者之串连连接于该电 源之两 端;一异常状态警报蜂鸣器;一第三继电器,具有一 常开 开关,一常闭开关,与一感应器,其常闭开关与该异 常状 态警报蜂鸣器串联,再与该第二继电器之感应器并 联;与 一蜂鸣器开关,与该第三继电器之常开开关并联, 并与该 第三继电器之感应器串联后再与该第二继电器之 感应器并 联。8.如申请专利范围第7项外接式射频电源异常 警告之装置 ,其中该第一继电器系为固态继电器。9.如申请专 利范围第7项外接式射频电源异常警告之装置 ,其中该第二继电器系为电磁继电器,其感应器为 电磁线 圈。10.如申请专利范围第7项外接式射频电源异常 警告之装置 ,其中该第三继电器系为电磁继电器,其感应器为 电磁线 圈。图式简单说明:第一图为一方块图,其中显示 习知技 术典型的半导体制程处理机台设备与一外部射频 产生器之 间的结合情形;第二图为一方块图,其中显示依据 本创作 一实施例,半导体制程处理机台设备与一外部射频 产生器 之间,利用一外接式射频电源异常警告装置而结合 的情形 ;与第三图为一电路图,其显示本创作一较佳实施 例之外 接式射频电源异常警告装置。 |
