| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR TESTING DEVICE AND SEMICONDUCTOR TESTING METHOD USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11223660(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
| 申请号 |
JP19980025400 |
申请日期 |
1998.02.06 |
| 申请人 |
TOSHIBA MICROELECTRONICS CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
NAGAO KATSUSHI |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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