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发明名称 METHOD OF REPETITIVELY IMAGING A MASK PATTERN ON A SUBSTRATE, AND APPARATUS FOR PERFORMING THE METHOD
摘要
申请公布号 EP0737330(B1) 申请公布日期 1999.03.10
申请号 EP19950915992 申请日期 1995.05.09
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 TENNER, MANFRED, GAWEIN;VAN DER WERF, JAN, EVERT;VAN UIJEN, CORNELIS, MARINUS, JOHANNES;DIRKSEN, PETER
分类号 G03F7/23;G03F9/00;G03F7/20;G03F7/207;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/23
代理机构 代理人
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