| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung elektrisch leitfähiger Durchgänge in vorzugsweise auf einem Halbleiter angeordneten Halbleiter-Bauelementen mittels Thermomigration durch Erzeugen eines Temperaturgradienten zwischen zwei entgegengesetzten Oberflächen der Halbleiter-Bauelemente und Aufbringen eines leitfähigen Dotierungsstoffes auf die kühlere Oberfläche. Die eine Oberfläche des Halbleiters wird auf einer gekühlten Probenaufnahme angeordnet und die entgegengesetzte Oberfläche einer Wärmestrahlung ausgesetzt, die sowohl in ihrer Gesamtleistung als auch in ihrer Leistungsverteilung über die Fläche des Halbleiters steuerbar ist. Die Gesamtleistung und/oder die Leistungsverteilung der Wärmestrahlung wird in Abhängigkeit von der an mindestens einem Temperatur-Meßpunkt auf dem Halbleiter bzw. dem Halbleiter-Bauelement gemessenen Temperatur eingestellt.</p> |
