| 发明名称 |
Flatline method of drying wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2298033(B) |
申请公布日期 |
1998.11.04 |
| 申请号 |
GB19960002034 |
申请日期 |
1996.02.01 |
| 申请人 |
* GEORGE KOCH SONS INC |
发明人 |
JEFFREY L. * DEXTER;DAVID * SIEMERS;LARRY J. * HEAD |
| 分类号 |
F26B17/04;F26B23/02;F26B23/10;(IPC1-7):F26B15/18 |
主分类号 |
F26B17/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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