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发明名称 Washing solution for a semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2323850(A) 申请公布日期 1998.10.07
申请号 GB19980007252 申请日期 1998.04.03
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 HIDEMITSU * AOKI
分类号 C11D7/32;C11D3/20;C11D3/39;C11D7/06;C11D11/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C11D7/32
代理机构 代理人
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