| 发明名称 |
CLEANING AGENT FOR SEMICONDUCTOR CIRCUIT AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR CIRCUIT USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10256210(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19970057726 |
申请日期 |
1997.03.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI GAS CHEM CO INC |
发明人 |
KARITA TETSUYA;MARUYAMA TAKEHITO;ABE HISAOKI;AOYAMA TETSUO |
| 分类号 |
C11D7/26;C11D7/60;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
C11D7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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