| 摘要 |
본 고안은 반도체 웨이퍼 제조용 퍼내스에 관한 것으로, 종래 반도체 웨이퍼 제조용 퍼내스에서는 각 공정을 진행하기 위하여 한공정이 끝나면 캐리어를 이용하여 다음공정으로 이동하고, 그 공정이 끝나면 다시 다음공정으로 이동해야하므로 각 공정을 이동하는 시간이 상당히 많이 소용되어 시간의 절감에 따른 생산성을 향상시키는데 한계가 있는 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 웨이퍼 제조용 퍼내스는 챔버의 내부에 3개의 공정을 진행할 수 있도록 3개의 튜브를 설치하고, 그 각각의 튜브에 보트를 설치하며, 1개의 트위저를 이용하여 각 공정으로 웨이퍼를 이동하여 각각의 공정을 진행할 수 있도록 함으로서, 종래와 같이 각 공정을 진행하기 위하여 캐리어로 각각의 공정에 웨이퍼를 이동하는 동작을 생략하게 되어 이동시간의 절감에 따른 생산성을 향상되는 효과가 있다. |
