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发明名称 BACK MIRROR FOR REPAIRING ON SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR0119300(Y1) 申请公布日期 1998.08.01
申请号 KR19940035964U 申请日期 1994.12.26
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KANG, YONG;PARK, JONG-JOON;LEE, SANG-TAE
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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