发明名称 FORMING METHOD OF ALIGNTARGET IN THE SEMICONKUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0140636(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19940028516 申请日期 1994.11.01
申请人 GOLD STAR ELECTRON CO.,LTD 发明人 LEE, SANG-JOONG
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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