Verfahren zur Messung der Tiefe vollgeschnittener Rastergräben mit einem Ultraschalldetektor und Schneidevorrichtung zur Ausführung des Verfahrens,申请号DE19946006154T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Messung der Tiefe vollgeschnittener Rastergräben mit einem Ultraschalldetektor und Schneidevorrichtung zur Ausführung des Verfahrens
摘要
申请公布号	DE69406154(T2)	申请公布日期	1998.04.23
申请号	DE19946006154T	申请日期	1994.02.14
申请人	TOKYO SEIMITSU CO. LTD., MITAKA, TOKIO/TOKYO, JP	发明人	IKEDA, HOTAKA, C/O TOKYO SEIMITSU CO., LTD, MITAKA-SHI, TOKYO, JP;NAKAMURA, MASAHARU, C/O TOKYO SEIMITSU CO., LTD., MITAKA-SHI, TOKYO, JP
分类号	G01S15/88;G01B17/00;H01L21/301;(IPC1-7):G01B17/00	主分类号	G01S15/88
代理机构		代理人
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