发明名称
摘要
申请公布号 JP2743471(B2) 申请公布日期 1998.04.22
申请号 JP19890124205 申请日期 1989.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C30B29/40;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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