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发明名称 SELF-ALIGNMENT TECHNIQUE FOR JUNCTION ISOLATION AND WELLS
摘要
申请公布号 EP0823125(A2) 申请公布日期 1998.02.11
申请号 EP19960910791 申请日期 1996.04.17
申请人 MICREL INCORPORATED 发明人 GARNETT, MARTIN, E.;HSING, MICHAEL, R.
分类号 H01L27/06;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
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