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发明名称 Apparatus for and method of backside protection during substrate processing
摘要
申请公布号 EP0467624(B1) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 EP19910306395 申请日期 1991.07.15
申请人 NOVELLUS SYSTEMS, INC.;NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 THOMAS, MICHAEL E.;VAN DE VEN, EVERHARDUS P.;BROADBENT, ELIOT K.
分类号 C30B25/12;C30B31/14;H01L21/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/683;H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/54;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
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