用于材料表面改性的等离子体浸没离子注入装置

摘要

本发明提出一种用于材料表面改性的等离子体浸没离子注入装置，主要包括主真空室，高频等离子体源和金属蒸汽真空电弧及高频天线激励系统，本发明具有多种等离子体产生手段，它即可用于金属，陶瓷，玻璃，聚合物材料表面改性，也可用于半导体材料处理，可进一步提高材料表面改性的效果。

主权项

1.一种用于材料表面改性的等离子体浸没离子注入装置，其特征在于：主真空室18是一个内径为1000毫米，高1200毫米，壁厚为6毫米的不锈钢园筒，在主真空室18的外壁铺有永久磁体7，在主真空室18内部装有顶部磁补偿盒34和底部磁补偿盒35，在主真空室内壁、顶部、底部上铺有铝的真空室内衬5，主真空室顶法兰36和主真空室18用螺栓连接起来，主真空室底法兰37和主真空室18焊接在一起，高频等离子体源9安装在主真空室顶法兰36上，用螺钉紧固，在主真空室18侧壁，距底法兰为400mm和750mm位置处，有若干个金属蒸汽真空电弧等离子体源接口，并将金属蒸汽真空电弧等离子体源14组件装入接口中，若干个多灯丝电子枪16安装在主真空室18侧壁上，全方位电容耦合高频天线1是由若干块铝板平行真空室18内壁放置，在电上它们是并联连接，铝板上端与高频发生器38相连，下端悬空。