| 发明名称 |
OPERATION MONITOR DEVICE FOR FAN FILTER UNIT FOR CLEAN ROOM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09122427(A) |
申请公布日期 |
1997.05.13 |
| 申请号 |
JP19950283462 |
申请日期 |
1995.10.31 |
| 申请人 |
HITACHI PLANT ENG & CONSTR CO LTD |
发明人 |
TANAKA KENICHI;OSAWA TAKAO |
| 分类号 |
F24F7/06;B01D46/42;(IPC1-7):B01D46/42 |
主分类号 |
F24F7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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