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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Bildung von Dünnschichten
摘要
申请公布号 DE19581483(T1) 申请公布日期 1997.01.02
申请号 DE19951081483T 申请日期 1995.11.28
申请人 MIKROKEMIA OY, ESPOO, FI 发明人 SUNTOLA, TUOMO, VASAMATIE, FI;LINDFORS, SVEN, ESPOO, FI
分类号 C30B25/02;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;C30B25/10;C30B25/14;C30B29/46;C30B35/00;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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