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发明名称 METHOD FOR PRODUCING EPITAXIAL LAYERS OF SEMICONDUCTOR COMPOUNDS
摘要
申请公布号 RU766418(C) 申请公布日期 1996.12.10
申请号 SU19792737248 申请日期 1979.03.14
申请人 DAGESTANSKIJ GOSUDARSTVENNYJ UNIVERSITET IM.V.I.LENINA 发明人 MAGOMEDOV KH.A.;GASANOV N.G.;BUTTAEV M.S.
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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