发明名称 THIN FILM ACTUATED MIRROR ARRAY AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 HU9601094(D0) 申请公布日期 1996.07.29
申请号 HU19960001094 申请日期 1994.10.25
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 JI,JEONG BEOM;KIM,DONG KUK;LEE,SEOK WON
分类号 H04N9/31;B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08;G02F1/29;G09F19/16;G09F19/18;H01L41/09;H04N5/74 主分类号 H04N9/31
代理机构 代理人
主权项
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