发明名称 Plasma enhanced chemical vapour deposition of a layer
摘要
申请公布号 GB9608565(D0) 申请公布日期 1996.07.03
申请号 GB19960008565 申请日期 1996.04.24
申请人 NORTHERN TELECOM LIMITED 发明人
分类号 C23C16/40;C23C16/509 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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