| 发明名称 |
METHOD FOR ETCHING ITO COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08122798(A) |
申请公布日期 |
1996.05.17 |
| 申请号 |
JP19940253486 |
申请日期 |
1994.10.19 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA ELECTRON ENG CORP |
发明人 |
TANAKA HIROHISA |
| 分类号 |
G02F1/1343;G02F1/133;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/786;H05K3/06;H05K3/08;(IPC1-7):G02F1/134;H01L21/306 |
主分类号 |
G02F1/1343 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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