发明名称 Thin film deposition
摘要
申请公布号 GB9602948(D0) 申请公布日期 1996.04.10
申请号 GB19960002948 申请日期 1996.02.13
申请人 BOC GROUP, THE PLC 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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