| 发明名称 |
PROTECTION OF CERAMIC FOR HEATING METAL SURFACE OF PLASMA TREATING CHAMBER EXPOSED TO ENVIRONMENT OF CHEMICAL ATTACK GAS AND METHOD OF PROTECTING SAID HEATING METAL SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0871408(A) |
申请公布日期 |
1996.03.19 |
| 申请号 |
JP19950056134 |
申请日期 |
1995.03.15 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
CHIYAARUZU ENU DOONFUESUTO;JIYON EMU HOWAITO;KUREIGU EI BAAKAU;HIROYUKI ESU TOMOZAWA;MAAKU EI FUODAA |
| 分类号 |
B01J19/00;B01J19/08;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):B01J19/00;H01L21/306 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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