发明名称 IONIZATION VACUUM GAGE
摘要
申请公布号 JPH0829283(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940185164 申请日期 1994.07.15
申请人 CANON INC 发明人 MITOME MASANORI;OKUDA MASAHIRO
分类号 G01L21/34;(IPC1-7):G01L21/34 主分类号 G01L21/34
代理机构 代理人
主权项
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