发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING FOREIGN MATTER PROTRUSION ON COLOR FILTER
摘要
申请公布号 JPH085575(A) 申请公布日期 1996.01.12
申请号 JP19940162853 申请日期 1994.06.21
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 MATSUNAGA RYOJI;NEMOTO RYOJI;SUZUKI NOBUHIKO;TABATA TAKAHITO;KOIZUMI MITSUYOSHI
分类号 G01N21/88;G01M11/00;G01N21/94;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
地址