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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07283217(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940076959 申请日期 1994.04.15
申请人 SHARP CORP 发明人 KOTAKI HIROSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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