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发明名称 ION BEAM GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH07272654(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940062801 申请日期 1994.03.31
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KONISHI IKUO;KUME HIROSHI;FUJITA HIROYUKI;OGAWA KIYOSHI;KONISHI YOSHIYUKI;SAKAUCHI HISAFUMI
分类号 H01J27/20;H01J37/05;H01J37/08;H01J49/10;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/20
代理机构 代理人
主权项
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