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发明名称 Röntgenlithographiesystem mit dünner Auftrefffläche.
摘要
申请公布号 DE3853531(T2) 申请公布日期 1995.09.14
申请号 DE19883853531T 申请日期 1988.08.23
申请人 HAMPSHIRE INSTRUMENTS, INC., ROCHESTER, N.Y., US 发明人 FRANKEL, ROBERT, D., ROCHESTER, NY 14618, US;DRUMHELLER, JERRY, WEBSTER, NY 14580, US
分类号 G21K5/08;G03F7/20;H01L21/027;H05G1/52;H05G2/00;H05H1/22;(IPC1-7):G21K5/10 主分类号 G21K5/08
代理机构 代理人
主权项
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