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发明名称 Halbleiter-Vorrichtung und Methode zu deren Herstellung.
摘要
申请公布号 DE69203418(D1) 申请公布日期 1995.08.17
申请号 DE19926003418 申请日期 1992.09.18
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ABE, YUJI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., AMAGASAKI-SHI, JP
分类号 H01S5/00;H01S5/12;H01S5/125;H01S5/323;(IPC1-7):H01S3/085 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
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