发明名称 CVD METHOD AND CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07188929(A) 申请公布日期 1995.07.25
申请号 JP19930335603 申请日期 1993.12.28
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 IMASHIRO NOBUHIKO
分类号 H05H1/46;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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