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发明名称 Verfahren zum Herstellen von Halbleiteranordnungen.
摘要
申请公布号 DE69017949(D1) 申请公布日期 1995.04.27
申请号 DE1990617949 申请日期 1990.05.16
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP;FUJITSU VLSI LTD., KASUGAI, AICHI, JP 发明人 UNO, MASAAKI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP;KOBAYASHI, MASANORI, MEGURO-KU, TOKYO 152, JP;NAKASHIMA, KAZUSHI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP
分类号 H01L21/02;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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