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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH07106267(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930268392 申请日期 1993.09.30
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 C30B29/04;H01L21/22;H01L21/261;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
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