发明名称 TRIMMING METHOD FOR CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0786521(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930232123 申请日期 1993.09.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OZAKI SUSUMU
分类号 H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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