| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING FINE TITANIUM NITRIDE FILM AND METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR ELEMENT USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0161880(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.01 |
| 申请号 |
KR19950006906 |
申请日期 |
1995.03.29 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD |
发明人 |
BYUN, JUNG-SOO |
| 分类号 |
H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 |
主分类号 |
H01L21/318 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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