| 发明名称 |
MECHANISM FOR ADJUSTING OPTICAL AXIS OF FINE PARTICLE DETECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06281559(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19930089531 |
申请日期 |
1993.03.25 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
MIYAJIMA SHIGEKI;SHINPO SENJI |
| 分类号 |
G01N15/14;G01N21/47;H01S3/101;(IPC1-7):G01N15/14 |
主分类号 |
G01N15/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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