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发明名称 Verfahren zur selektiven Abscheidung von Wolfram auf einer Siliziumoberfläche.
摘要
申请公布号 DE59102008(D1) 申请公布日期 1994.07.28
申请号 DE19915002008 申请日期 1991.11.26
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 WERNER, CHRISTOPH, DR., W-8033 KRAILLING, DE;ULACIA, IGNACIO, DR., GUADALAJARA, JALISCO 45042, MX
分类号 C23C16/00;C23C16/08;C23C16/14;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
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