发明名称 Process for depositing a copper-containing layer.
摘要
申请公布号 EP0468396(B1) 申请公布日期 1994.06.29
申请号 EP19910112231 申请日期 1991.07.22
申请人 KALI-CHEMIE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KRUCK, THOMAS;TERFLOTH, CHRISTIAN
分类号 C07F1/00;C07F9/50;C23C16/18;(IPC1-7):C23C16/18;C07F9/02;C07F1/08 主分类号 C07F1/00
代理机构 代理人
主权项
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