| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING VAPOR GROWTH APPARATUS REACTION VESSEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06124894(A) |
申请公布日期 |
1994.05.06 |
| 申请号 |
JP19920272589 |
申请日期 |
1992.10.12 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
TAKAHASHI MICHIO;TOYOSAKI KOICHI;KOMURA YUKIO |
| 分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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