| 发明名称 |
MICRODEVICE FOR DETECTING TUNNEL CURRENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06102005(A) |
申请公布日期 |
1994.04.12 |
| 申请号 |
JP19920050559 |
申请日期 |
1992.03.09 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
FUJITA HIROYUKI;KOBAYASHI MASARU |
| 分类号 |
G01B7/34;B81B1/00;G01N37/00;G01Q20/00;G01Q60/10;G01Q60/24;H01L49/00;(IPC1-7):G01B7/34 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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