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经营范围
发明名称
VACUUM DRIER
摘要
申请公布号
JPH0669180(A)
申请公布日期
1994.03.11
申请号
JP19920237656
申请日期
1992.08.13
申请人
TOKYO HIGHTECH KK
发明人
FUJIMARU SHINSUKE;MATSUNAGA MOTOAKI
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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