发明名称 VACUUM DRIER
摘要
申请公布号 JPH0669180(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920237656 申请日期 1992.08.13
申请人 TOKYO HIGHTECH KK 发明人 FUJIMARU SHINSUKE;MATSUNAGA MOTOAKI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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