发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343435(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920147214 申请日期 1992.06.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 MORIYOSHI MEGUMI;KA KIRIN;MIZUTA HIROSHI;YAMAGUCHI KEN
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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