发明名称 SUBSTRATE HOLDER FOR MERCURY CADMIUM TELLURIUM THIN FILM OF MOLECULAR BEAM EPITAXY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05339095(A) 申请公布日期 1993.12.21
申请号 JP19920145179 申请日期 1992.06.05
申请人 NEC CORP 发明人 SASAKI NARIHITO
分类号 C30B23/08;C30B29/48;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/08 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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