| 摘要 |
L'invention a pour objet un dispositif de vaporisation de matière par décharge à l'arc électrique sous vide, avec cathode froide et anode chaude auto-consommable, dans lequel le creuset (7) est en un matériau électro- et thermoconducteur, la pièce de jonction (7a) permettant, en raison des propriétés du matériau ou de ses propriétés géométriques, une fixation électro- et thermo-isolante du creuset (7) à la plaque de base anodique (6), le creuset (7) étant monté latéralement, au-dessus de la surface de travail de la cathode (2a) en étant rapproché de cette surface dans une mesure telle que l'angle solide qui est formé par le plasma de vapeur métallique (9) s'écoulant du creuset anodique (7) ne soit pas réduit par le diaphragme (13) pour qu'une métallisation homogène du substrat au-dessus du creuset (7) ne soit plus possible. La cathode (2) et l'anode sont disposées l'une en face de l'autre. L'invention a également pour objet un procédé de vaporisation de matière, dans lequel les courants de plasma (5a, 5b) provenant des surfaces de la cathode agissent sans obstacles sur la paroi extérieure du creuset (7b) et sur la vapeur du matériau au-dessus du creuset (9), ce qui permet d'obtenir un haut degré de vaporisation, ledit creuset (7) étant constitué par un matériau électro- et thermoconducteur. |
