发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05243248(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920080478 申请日期 1992.03.02
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAZAKI TORU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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